Microcapteurs et microsystèmes intégrés (NMT, Nano et Micro Technologies Vol. 1 N°1/2000)

Cette revue s'adresse à l'ensemble de la communauté scientifique et technique des chercheurs et des ingénieurs en nanotechnologies, microtechnologies, miniaturisation et intégration des microsystèmes.

Ce premier numéro spécial de NMT est orienté vers les microsystèmes intégrés. Mems monolitiques. Application à la mesure du champ magnétique - Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Yves Bertrand, Pascal Nouet Micro-accéléromètre intégré 3 axes - Jean-Claude Jeannot, Gerold Schröpfer, Jérôme Goy, Bernard Courtois, Michel de Labachelerie Self-aligned Vertical Mirrors and V-grooves for Magnetic Micro Optical Matrix Switch. Si Technology, Modelling and Optimisation of Actuation. - Philippe Hélin, Tarik Bourouina, Hiroyuki Fujita, Hideyuki Maekoba, Orphée Cugat, Gilbert Reyne Microsystèmes autonomes sans fils - Gaëlle Bazin, Patrick Sangouard, Geneviève Baudouin, Christian Ripoll, Pierre Nicole